最优化的基板材质，厚度和镀膜条件，是高面型精度的反射镜。
   保证镀膜后的面型精度为λ/10。

   面型精度（镀膜后）比以往的多层电介质膜平面反射镜（TFM）更高。
   由于使用合成石英基板，基板变厚，基板的刚性也提高了。
   适用于紫外激光或YAG激光各波长的高反射率反射镜，已有系列产品。