Accufiber®TR辐射温度监测系统
产品简介：
对于先进材料沉积处理，例如：MOCVD、MBE和高温CVD工艺，Accufiber®TR充分结合了Luxtron优秀领先的辐射温度计系统的两种成熟计量功能，自动辐射率准确测量温度；经双波反射测量薄膜生长的监测。
产品应用：
Ø 高温CVD、MOCVD和MBE处理过程中薄膜沉积速率监测；
Ø 接受器、平台、高温沉积或处理时卡盘的精确温度监测/控制；
Ø 快速移动或旋转基板在薄膜沉积或快速热处理时的温度监测/控制。
技术参数：
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温度测量： |
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范 围 |
400~1700°C |
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速 度 |
100 Hz |
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检测波长 |
880nm |
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精度(1s ) |
1.5°C @ 450°C, 0.25°C @ 600°C 以上 |
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准确度 |
±2°C 或 更好 |
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设备特征： |
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输入电源 |
通用交流电 |
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串行输出 |
RS-232 |
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模拟输出 |
4-20 mA |
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界 面 |
触摸屏 |
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工作环境 |
5 ~ 45 °C及 10-80% 相对湿度 |
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选 项 |
接口控制器可以支持辅助photrix™辐射温度计 |
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客户定制工作距离(标准150mm) |
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