Luxtron M600 OEM MODULE光纤温度测量系统集成模块
产品简介：
Fluoroptic® 系统m600 OEM系列产品提供了具有1、2、4通道版本的标准模块盒，该设备支持在同一机盒内提供模拟和数字两种输出模式。m600系列产品的小型化使在其他设备中使用该OEM产品更容易。
产品应用：
Ø 静电卡盘温控控制；
Ø 温度监测和控制介质(射频和微波)加热过程；
Ø 监测半导体晶片加工中的温度；
Ø 微波加工过程加热控制；
Ø 设施和军用设备临界温度监测及电气隔离。
技术参数：
|
型号 |
m601 |
m602 |
m604 |
|
通道数 |
1 |
2 |
4 |
|
采样速率 |
4Hz |
2Hz |
1Hz |
|
测定范围 |
-100℃ ~ 330℃ |
|
电干扰 |
探针抗电磁、微波和RF干扰 |
|
精确度(校准) |
±0.5℃ （50 ℃以内） |
|
重复性(精度) |
0.5℃ RMS @ 8次采样/测量 |
|
输出分辨率 |
RS-232C: 0.01°C |
|
模拟输出: 0.01°C |
|
输出格式 |
可选择℃, ℉ 或者°K |
|
输入功率 |
+5VDC ±5% @ 1.5 A, 或+24VDC ±5% @ 300mA |
|
自诊断 |
自诊断和探针读数错误通过RS-232获得 |
|
串行输出 |
RS-232 |
|
模拟输出 |
0-10VDC或者4-20mA |
|
尺寸规格 |
74.7mm H x 44.7mm W x 104.5mm D |
|
储存温度 |
-30℃ ~ 75℃ |
|
工作环境 |
10℃ ~ 50℃, 80%最大相对湿度，非冷凝 |
|
