New！LASERTEC 白光干涉共聚焦显微镜S130IF
产品简介：
Ø 共聚焦显微镜与Mirau干涉测量系统的融合；
Ø 通过共聚焦显微镜检查及Mirau干涉测量法获取高分辨率图像和高分辨率的Z轴数据；
Ø Z轴高度测量：1nm 至 15mm；
Ø 可选择用于干涉测量的波长：R (630 nm), Y (577 nm) 和 G (546 nm) ；
Ø 通过双波长测量模式扩展测量的范围；
Ø 干涉装置可以根据样本的配置选择透镜驱动类型和工作台驱动类型。
技术参数：
|
物镜 |
10x, 20x, 50x |
|
干涉模式 |
Mirau 干涉 |
|
测量原理 |
相位移方法(selectable from3 bucket, 4 bucket and 5 bucket methods.) (单波长模式和双波长模式都可使用) |
|
测量最小值 (Z 轴) |
0.54 nm (546 nm单波长模式下) |
|
测量波长 |
546nm(G), 577nm(Y), 630nm(R) |
|
测量范围 (Z 轴) |
<315 nm (单波长模式下),<5081nm (双波长模式下) |
|
相位调制方法 |
工作台驱动方法和物镜驱动方法可选择(由压电传感器驱动) |
|
测量环境 |
<23℃, 在活动的减震工作台下使用 |
|
步测重复性 |
σ=0.7 nm (60 nm) |
产品应用：
材料表面微结构观察、测量和计算,例如 晶片, 薄膜, 玻璃,透镜, 晶体, 聚合物, 物体纳米缺陷及其他。
|
