产品简介：
Ø 本装置由采用氙光源，以及分别对应于RGB的3个CCD的彩色共聚焦显微镜和图象处理装置构成；
Ø 由于采用了共聚焦光学系统，系统可以不受样品表面散乱光的影响，从而保证观察到高对比度、高画质的彩色共焦点图像；
Ø 可以进行分别基于R、G、B的图像信号的表面形状测定以及形状解析。进一步也可以获得深焦点图像（焦点移动记忆方式）；
Ø 本装置在进行表面形状测定时，能够作到非接触、非破坏测定，测定精度高、处理速度快，（或在高生产率的条件下）可以实现高效的测定；
Ø 测定结果、取得的图像通过计算机的处理，可以实现数据化并保留起来。
技术参数：
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分辨率 |
0.15µm *1 |
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放大倍数/视场/ |
物镜放大倍数 |
在27英寸显示器上放大倍数 |
象数分辨力[µm] |
视场[µm] |
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5 X |
170 × |
1.76 |
3600 x 3600 |
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10 X |
340 × |
0.88 |
1800 x 1800 |
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20 X |
680 × |
0.44 |
900 x 900 |
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50 X |
1700 × |
0.18 |
360 x 360 |
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100 X |
3400 × |
0.088 |
180 x 180 |
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显示分辨率 |
1280×1024 像素 |
彩色 |
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1280×1024 像素 |
单色 |
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显示器 |
27英寸电子管或液晶显示器 |
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光源 |
氙灯（波长400—700nm） |
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感光单元 |
RGB 3CCD成像传感器 |
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扫描速度 |
11段变速功能 |
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像分辨率 |
用于像 |
2048(1024)H × 2048(1024)V ×12bit×RGB |
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用于表面特定测量 |
2048(1024)H × 2048(1024)V ×16bit |
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高度测量分辨率 |
0.01µm |
线性标尺（微调） |
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样品最大高度 |
90mm |
有标尺的粗动范围 |
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Z轴移动 |
90mm |
手动测量 |
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70mm |
电动测量 |
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微尺寸测量 |
最小测量单位 |
0.001µm |
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测量重复精度（3σ） |
0.02µm *2 |
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表面特征测量 |
最小测量单位 |
0.001µm |
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测量重复精度（σ） |
0.02µm *3 |
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像处理软件 |
高度差表示、面积、体积、3D表示、各种过滤分类机能、 表面粗糙度解析（JIS、ISO）、图像存档、 二值化、 轮廓绘制机能、图像拼接等。 |
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功率 |
电源 AC100V 50/60Hz 600VA |
用于显微镜、PC、显示器 |
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尺寸 |
380（W）×430（D）×583（H） |
显微镜主体 |
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430（W）×450（D）×100（H） |
控制器主体 |
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142（W）×311（D）×227（H） |
光源盒 |
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重量 |
大约41Kg |
显微镜主体 |
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大约7Kg |
控制器主体 |
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大约6.7Kg |
光源盒 |
注：
*1此值是在用436nm紫色激光,使用150×[NA0.95]物镜，对线宽、立体图案进行观察时的值。
*2此值是在无振动环境条件下，采用消色差物镜100×[NA0.95]，对光掩膜测定时的实际值。
*3此值是在无振动环境条件下，采用消色差物镜100×[NA0.95],对VLSI标准公司的标准块的测得值。
