13.56 MHz 空心阴极等离子源HCD-P 400

产品简介：

Ø         400mm长的平面等离子源

Ø         延伸动力范围

Ø         极高的等离子和辐射密度与优秀的轴向均匀性

Ø         同时兼容活泼气体和惰性气体

Ø         cw（连续波）与脉冲操作

Ø         低污染

Ø         按一定比例制作

产品应用：

Ø          等离子增强气相化学沉积(PE-CVD)

Ø          等离子聚合

Ø          表面修饰

Ø          等离子清洗

Ø          等离子蚀刻

Ø          活泼气体和惰性气体离子蚀刻

Ø  材料科学(in general)

技术参数：

＊数据可能会因加工的单体不同而发生变化

尺寸规格（mm）：

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