13.56 MHz 空心阴极等离子源 HCD-P 100
产品简介：
Ø Φ158mm直径的平面源
Ø 扩大的功率范围
Ø 无模式跳转
Ø 高密度等离子,radical并且拥有优秀的轴向均匀性
Ø 与活泼气体和惰性气体兼容
Ø cw（连续波）和脉冲操作
Ø 低污染
Ø 可按比例制作scaleable
产品应用：
Ø 等离子增强
Ø 等离子增强气相化学沉积(PE-CVD)
Ø 等离子聚合
Ø 表面修饰
Ø 等离子清洗
Ø 等离子蚀刻
Ø 活泼气体和惰性气体离子蚀刻
Ø 材料科学(通用)
技术参数：
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rf-power |
1 - 700 W |
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频率 |
13.56 MHz |
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压力范围 |
10 - 1000 Pa |
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冷却方式 |
水冷式 |
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装配法兰 |
DN 250 ISO-KF或更大型号 |
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气体流速 |
初级气体 |
5-500 sccm |
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单 体 |
4-100 sccm C4F8 |
尺寸规格（mm）：
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