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2.45 GHz 微波等离子源 SLAN I-DS
产品简介：
Ø 高等离子和radical密度
Ø 低电子温度
Ø 兼容活泼和惰性气体
Ø 低污染
Ø 操作 (可选)
Ø 脉冲操作
产品应用：
Ø 等离子增强化学气相沉积 (PE-CVD)
Ø 表面修饰
Ø 等离子清洗
Ø 反应和不反应离子刻蚀
Ø 材料科学
技术参数：
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等离子源直径 |
16 cm |
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最大微波功率 |
2 kW (cw)
与脉冲电源操作可获得更高峰值能量 |
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压力范围 |
从10-2 到数mbar
最大压力取决于所使用的气体
同ECR (可选): 10-4 ～10-2 mbar |
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电子共振回旋加速 (ECR) |
SmCo 永磁体, 超环面对称 |
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气流率可能因专门的等离子加工而不同 |
氩气：10-200 sccm 氧气：10-500 sccm |
尺寸规格（mm）
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