|
2.45 GHz 微波等离子源 SLAN I-OV
产品简介：
Ø 高等离子和根密度
Ø 低电子温度
Ø 同时兼容化学活泼和不活泼气体
Ø 低污染
Ø ECR 操作（可选）
Ø 脉冲操作
产品应用：
Ø 等离子增强气象化学沉积（PE-CVD）
Ø 表面修饰
Ø 等离子清洁
Ø 活泼和不活泼离子蚀刻
Ø 连续材料流体等离子加工
Ø 材料科学
技术参数：
|
等离子源直径 |
16 cm |
|
最大微波功率 |
2 kW (cw)
与脉冲电源操作可获得更高峰值能量 |
|
压力范围 |
从10-2 到数mbar
最大压力取决于所使用的气体
同ECR (可选): 10-4 ～10-2 mbar |
|
电子共振回旋加速 (ECR) |
SmCo 永磁体, 超环面对称 |
|
气流率可能因专门的等离子加工而不同 |
氩气：10-200 sccm 氧气：10-500 sccm |
尺寸规格（mm）
上一页 [1] [2] [3] 下一页
|
