2.45 GHz 微波等离子源 µSLAN
产品简介：
Ø 极高的等离子和基团密度
Ø 低电子温度
Ø 兼容活泼或惰性气体
Ø 超出压力范围操作从10-5 mbar(ECR) t至大气压
Ø 低污染
Ø ECR 操作 (选件)
Ø 脉冲操作
产品应用：
Ø 化学方式等离子加工
Ø 分子气体分裂
Ø 等离子增强化学气相沉积(PE-CVD)
Ø 表面修饰
Ø 等离子清洗
Ø 等离子蚀刻
Ø 反应和无反应离子蚀刻
Ø 材料科学
技术参数：
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等离子源直径 |
4 cm |
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最大微波功率 |
500 – 1200 W
与脉冲电源操作可获得更高峰值能量 |
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压力范围 |
从 10-3 ～ 数 mbar
最大压力范围依赖于实际使用气体
同 ECR (可选): 10-5～10-2 mbar |
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电子共振回旋加速 (ECR) |
SmCo 永磁体, 超环面对称 |
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气流率可能因专门的等离子加工而不同 |
氩气：10-200 sccm 氧气：10-500 sccm |
尺寸规格（mm）
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