工业级飞秒激光超微细加工机(两维、三维)
产品特点:
Ø 可以在稀薄气体或真空条件下进行加工。
Ø 能进行单点加工、线加工、三维加工。
Ø 可在透明材料（玻璃、聚合物、丙稀）的内部进行加工、做标志等。
Ø 加工过程中能控制激光的发射次数（1～200kHz）和激光的功率
Ø 自动调焦精度：5nm RMS
Ø 可以即时观察加工状况
Ø 能完全重复透明、半透明物质的内部立体构造像
Ø 可以观察到加工后的两维或三维形状
Ø 能加工种类硬质材料和软质材料，如玻璃、硅晶体、钻石、高聚物等透明材料及金属、陶器、半导体等
Ø 工作台可以在下列4种类别里选择
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工作台种类 |
加工范围 |
扫描速度/点 |
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石英晶体 |
100 (200) × 100 (200)× 20 µm |
30 ms |
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电子显微镜 |
100 (500) × 100 (500) (× 350) µm |
1 ms |
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气体轴承 |
100 × 100 × 0.1 (10) mm |
60 ms |
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步进电动机 |
100 (300)× 100 (300)× 10 (20) mm |
－ |
Ø 多点加工：用激光干涉法加工
Ø 光学系统：显微镜型，特殊光学系统
Ø 软件： 标准软件和3Dmax /Auto CAD
Ø 使用激光：λ=800nm 1KHz 150fs，1mJ/脉冲
λ=800nm 250KHz 150fs，3μJ/脉冲
产品用途：
Ø 光波导的制作
Ø 光盘的制作
Ø 透明材料的内部加工
Ø 表面修复
Ø 微型模具加工
Ø DNA切片、微槽加工
Ø 燃料电池材料的加工
Ø 各种软质材料、硬质材料的钻孔、切割、开槽
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飞 秒 激 光 |
波长/ 脉冲范围 800nm/ 150fs
输出 1.0mJ/1..0 W@1 kHz（重复振动周波数）
3.0μJ/0.75 w@250 kHz（重复振动 周波数） |
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光 点 尺 寸
（加工材料上） |
使用显微对物镜的微细加工
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对物镜 |
N.A. |
光点尺寸 |
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40× |
0.55 |
1.90(800nm)um |
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100× |
0.95 |
1.10(800nm)um |
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100×Oil |
1.4 |
0.72(800nm)um |
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UV40×glycol |
1.25 |
0.81(266nm)um |
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UV40× |
0.8 |
1.30(266nm)um |
10µm～100µm程度的加工是使用的其他光学系统 |
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光 学 单 元 |
1：飞秒激光加工光束诱导
光束整形光学系统，光束诱导光学系统，衰减器，偏光子，全自动系统
2：检测系统
共焦点光学系统，自动调焦光学系统，He-Ne激光543nm光学系统 |
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加
工
平
台 |
压 电 台 |
加工范围 100×100×20μm
重复性 ±5nm
色散精度 1nm
扫描速度 30ms/点 |
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电 子 显 微 镜 |
加工范围 X—Y平面 100×100μm（100倍对物镜头）
250×250μm（40倍对物镜头）
500×500μm（20倍对物镜头）
Z轴深度 350μm
重复性 ±60nm
扫描速度 1ms/点 |
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气 体 轴 承 |
加工范围 X—Y平面 100×100 mm（～300mm）
Z轴深度 100μm（使用压电台）
100mm(使用手动台)
重复性 X—Y平面 ±5nm（带有光学编码器）
Z轴深度 ±5nm（手动台10nm）closed loop方式
扫描速度 60ms/点 |
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步 进 电 动 机 |
加工范围 X—Y—Z 100×100×100 mm（～1000mm）
重复性 ±5μm
最大移动量 30mm/s |
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自 动 调 焦(Z) |
调焦精度 ±10nm RMS |
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三 维 扫 描 及 软 件 |
标准软件 3D MAX或Auto-CAD |
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电 气 系 统 |
光束整形系统及激光输出调整由步进电机驱动。/激光振动数
压电工作台，电子显微镜，气体轴承 |
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实 时 监 控 器 |
CCD照相机 38万个像素，1/2英寸，470线 |
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形状观察(两维/三维) |
配合共焦点激光显微镜 可以观察内部构造（即可以观察透明材料的三维结构）
立体坐标范围： X-Y轴：200nm， Z轴：＜500 nm |
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减 振 装 置 |
空气阻尼减振台 1.8×1.2m ※ 可根据用户的用途更改大小 |
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其 它 条 件 |
电源3kW (AC 100/220V)
清洁度1000等级
温度20～25℃ ±1℃
湿度小于70% |
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