LASERTEC 蓝色激光共聚焦显微镜
产品简介：
随着日亚化学开发成功兰色激光二极管，1999年终于开发、产品化了兰色激光显微镜。它是可见光领域内分辨率最高的显微镜，而且其扫描速度以及观察的便利性没有任何改变。使得更加精密的解析在大气之中就可简单地进行了。
VL-2000D调焦到各种测定作业，只要通过一个鼠标即可完成。另外，通过自动处理的指令，可以进一步提高操作性和作业效率。
技术参数：
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分辨率 |
0.14µm |
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放大倍数/视场/像素分辨率 |
物镜放大倍数 |
显示器上放大倍数 |
视场 |
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10× |
360× |
640μm |
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20× |
720× |
320μm |
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50×Apo |
1800× |
128μm |
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100×Apo |
3600× |
64μm |
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200×Apo |
7200× |
32μm |
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扫描速度 |
15桢/秒 |
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显示器 |
22英寸监视器 |
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光源 |
蓝色激光二极管（410nm） |
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像分辨率 |
用于像 |
900（H）×900（V）×8bit |
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用于表面特定测量 |
900（H）×900（V）×16bit |
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慢扫描 |
2、4、8、16、32、64、128、256、512
以通常为1，按上述比率降低扫描速度，可以进一步提高扫描精度 |
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微尺寸测量 |
最小测量单位 |
0.001µm |
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测量重复精度（3σ） |
0.02µm *2 |
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表面特征测量 |
最小测量单位 |
0.01µm |
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测量重复精度（σ） |
0.02µm *3 |
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像处理软件 |
高度差表示、面积、体积、3维表示、各种滤除、表面粗糙度解析、图象归档、二值化、LAYOUT功能、扩大功能、周长、绝对最大长等。 |
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功率 |
电源 |
AC100V 50/60Hz 6A(Max.) |
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压缩空气 |
4～7kgf/cm、40Nl/minue、
管径：6mm |
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尺寸 |
670（W）×790（D）×1670（H） |
显微镜主体 |
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860（W）×790（D）×1122（H） |
控制器主体 |
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重量 |
大约300Kg |
显微镜主体 |
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大约150Kg |
控制器主体 |
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产品应用：
Ø 未来型记录媒体data bit形状测定；
Ø DWDM装置（光学集成电路）的波导路径形状测定；
Ø 半导体槽的深度测定；
Ø CMP的研磨颗粒形状的观察与评价；
Ø 高分子复合物的观察；
Ø 该装置可以对透明样品的表面和内部进行高分辨率的观察。
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