LASERTEC 真实色共聚焦显微镜 C130
产品简介：
Ø 真实颜色、形状同时准确的立体观察成像，避免同色异像，同像异色现象的产生；
Ø 根据样品选择最合适R.G.B三原色进行单波长测定；
Ø 高精度彩色图像输出1280*1024；
Ø 图像拼接实现高放大、高分辨、大视场；
Ø 每秒85桢的高速图像读取；
Ø 高度差、粗糙度、三维尺寸等的直接测量。
产品应用：
Ø MEMS、半导体、液晶相关产品、金属材料、化学材料、其他各种应用领域。
技术参数：
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分辨率 |
0.18µm *1 |
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放大倍数/视场/像素分辨率 |
物镜放大倍数 |
在20.1英寸显示器上放大倍数 |
视场 |
像素分辨率 |
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10× |
230× |
1420×1140µm |
1.1µm |
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20× |
460× |
710×570µm |
0.55µm |
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50× |
1150× |
284×228µm |
0.22µm |
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100× |
2300× |
142×114µm |
0.11µm |
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显示分辨率 |
1280×1024 像素 |
彩色 |
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1280×1024 像素 |
单色 |
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显示器 |
20.1英寸电子管或液晶显示器 |
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光源 |
氙灯（波长400—700nm） |
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桢速 |
7.5Hz(高速彩色型) |
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117Hz (线桢型) |
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像分辨率 |
用于像 |
1280（H）×1024（V）×8bit |
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用于表面特定测量 |
1280（H）×1024（V）×16bit |
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高度测量范围 |
15mm |
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高度测量分辨率 |
0.01µm |
激光线规分辨率 |
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样品最大高度 |
90mm |
有标尺的粗动范围 |
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Z轴移动 |
75mm |
手动测量 |
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15mm |
电动测量 |
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Z轴记数器位数 |
24位 |
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微尺寸测量 |
最小测量单位 |
0.001µm |
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测量重复精度（3σ） |
0.02µm *2 |
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表面特征测量 |
最小测量单位 |
0.01µm |
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测量重复精度（σ） |
0.03µm *3 |
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像处理软件 |
不同高度的显示、面积、体积、3D显示。各种过滤器、表面粗糙度分析、像填充功能、放大功能、图象拼接、求圆周长、半径等等。 |
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功率 |
电源AC100V 50/60Hz 6A(Max.) |
用于显微镜、PC、显示器 |
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尺寸 |
330（W）×474（D）×520（H） |
显微镜主体 |
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180（W）×422（D）×410（H） |
控制器主体 |
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重量 |
大约30Kg |
显微镜主体 |
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大约10Kg |
控制器主体 |
注：
*1 在硅片上对线宽、间隔图案进行观察时的分辨率（物镜150×{另选}，NA＝0.95）。
*2 在无振动环境下，对掩膜标准图案采用100倍、NA＝0.95复消色差（Apochromat）物镜的观测值。
*3 在无振动环境下，采用100倍、NA＝0.95复消色差（Apochromat）物镜对VLSI Standard公司标准段差。
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