LASERTEC 五波长共聚焦显微镜S130
产品简介：
Ø 高达0.13µm的超高分辨率；
Ø 以含有宽幅波长的水银氙灯为光源，并提取五个波长使用的扫描型共聚焦显微镜；
Ø 根据试样观察、测定的需要，从五个波长中选择最合适的波长进行扫描，避免单色光照明受试样色彩影响导致分辨率降低；
Ø 能够透过膜层观察多层构造、彩色3维结构、内部构造图像；
Ø 进行高度测定、形状测定、粗糙度测定等等；
Ø 通过130万画素的RGB三种画面的合成，获得真实色高精细彩色画面。
技术参数：
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波长 |
405nm(紫)、436nm(蓝)、546nm(绿)、577nm(黄)、630nm（红)
五种波长可任意选择 |
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分辨率 |
0.13µm *1 |
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XY线宽测定 |
最小测量单位 |
0.001µm |
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测量重复精度（3σ） |
0.02µm *2 |
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高度测定 |
最小测量单位 |
0.01µm |
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测量重复精度（σ） |
0.03µm *3 |
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图像显示分辨率 |
1280（H）×1024（V）×8bit×RGB |
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形状测量 |
1280（H）×1024（V）×16bit |
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桢速 |
7.5Hz(高精密模式) 15 Hz（非共聚焦模式） |
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高速成像模式 |
110Hz (线网模式下) |
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高度测量范围 |
15mm |
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Z轴记数器位数 |
24位 |
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Z轴移动 |
75mm（手动测量） 15mm（电动测量） |
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X-Y台 |
6英寸手动（电动台可选） |
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放大倍数/视场/像素分辨率 |
物镜放大倍数 |
在20.1英寸显示器上放大倍数 |
视场 |
像素分辨率 |
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10× |
230× |
1420×1140µm |
1.1µm |
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20× |
460× |
710×570µm |
0.55µm |
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50× |
1150× |
284×228µm |
0.22µm |
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100× |
2300× |
142×114µm |
0.11µm |
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图像处理软件 |
表面形状测定（平均段差测定、R测定、膜厚测定、角度测定）、表面粗糙度测定、线宽测定、形状测定、片段衔接功能、颜色分离、扩张子机能同时变换功能、焦点合成、自动2值化、自动对比度修正、自动水平修正、轮廓图、图像数据库、模块化功能。
多层观察、多层3D成像功能。
非破坏多层断面结构显示、测定。
高度、面积、体积、半径、直径、圆周长、比率测定等。 |
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功率 |
电源AC100V 50/60Hz、 6A(Max.) 可配AC220稳压电源 |
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尺寸 |
330（W）×474（D）×520（H）mm |
显微镜主体 |
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180（W）×422（D）×410（H）mm |
控制器主体 |
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重量 |
大约30Kg |
显微镜主体 |
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大约10Kg |
控制器主体 |
注：
*1 使用405nm波长对线宽、间隔图案进行观察时的值（物镜150×{另选}，NA＝0.95）。
*2 在无振动环境下，对掩膜标准图案采用100倍、NA＝0.95复消色差（Apochromat）物镜的观测值。
*3 在无振动环境下，采用100倍NA＝0.95复消色差（Apochromat）物镜对VLSI Standard公司标准段差。
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