★ 3个线性CCD（R、G、B），1200万像素；

★ 扫描速度：15帧/秒；

★ 可以进行分别基于R、G、B的图像信号的表面形状测定以及形状解析，进一步也可以获得深焦点图像（焦点移动记忆方式）；

★ 本装置在进行表面形状测定时，能够作到非接触、非破坏测定，测定精度高、处理速度快，（或在高生产率的条件下）可以实现高效的测定；

★ L7 除了白光共聚焦扫描以及激光共聚焦扫描功能外，还具有微分干涉、光学干涉测量以及反射光膜厚测量等功能；

★ 分辨率可达0.14μm；